? ? ? ?(1)X射線是一種電磁波，波長(zhǎng)比紫外線還要短，為0.001- 10nm左右。X射線照射到 物質(zhì)上面以后，從物質(zhì)上主要可以觀測(cè)到以下三種X射線。熒光X射線、散射X射線、透過(guò)X射線，SIINT產(chǎn)品使用的是通過(guò)對(duì)第一種熒光X射線的測(cè)定，從物質(zhì)中獲取元素信息(成 分和膜厚)的熒光X射線法原理。物質(zhì)受到X射線的照射時(shí)，發(fā)生元素所固有的X射線(固 有X射線或者特征X射線)。熒光X射線裝置就是通過(guò)對(duì)該X射線的檢測(cè)而獲取元素信息。
(2)原理：高能粒子(電子或連續(xù)X射線等)與靶材料碰撞時(shí)，將靶原子內(nèi)層電子(如K，L，M等層)逐出成為光電子，原子便出現(xiàn)一個(gè)空穴，此時(shí)原子處于激發(fā)態(tài)，隨即較外層電子立即躍遷到能量較低的內(nèi)層空軌道上，填補(bǔ)空穴位。若此時(shí)以X射線的形式輻射多余能量，便是特征X射線。當(dāng)K層電子被逐出后，所有外層電子都可能跳回到K層空穴便形成K系特征X射線。由L，M，N…層躍遷到K層的X光分別為Kα，Kβ，Kγ…輻射。同樣地，逐出L或M層電子后將有相應(yīng)的L系或M系特征X射線：Lα，Lβ…;Mα，Mβ…。Kα，Kβ輻射的波長(zhǎng)λ是特征的，它取決于K，L，M電子能層的能量： 可以看出，不同元素由于原子結(jié)構(gòu)不同，各電子層的能量不同，所以它們的特征X射線波長(zhǎng)也就各不相同。通常人們將X光管所產(chǎn)生的X射線稱為初級(jí)X射線。以初級(jí)X射線為激發(fā)光源照射試樣，激發(fā)態(tài)試樣所釋放的能量不為原子內(nèi)部吸收而以輻射形式發(fā)出次級(jí)X射線，這便是X射線熒光由于各種元素發(fā)射具有特定波長(zhǎng)(或能量)的標(biāo)識(shí)X射線,可利用鋰漂移、硅半導(dǎo)體等不同探測(cè)器及能譜分析儀來(lái)確定元素的種類。而標(biāo)識(shí)譜線強(qiáng)度可用來(lái)確定元素含量。
利用熒光X射線進(jìn)行定量分析的時(shí)候，大致分為3個(gè)方法:
一個(gè)是制作測(cè)量線的方法（經(jīng)驗(yàn)系數(shù)法）。這個(gè)方法是測(cè)定幾點(diǎn)實(shí)際的已知濃度樣品，尋求想測(cè)定元素的熒光X射線強(qiáng)度和濃度之間的關(guān)系，以其結(jié)果為基礎(chǔ)測(cè)定未知樣品取得熒光X射線，從而得到濃度值。?
另一個(gè)方法是理論演算的基礎(chǔ)參數(shù)法（FP法）。這個(gè)方法在完全了解樣品的構(gòu)成和元素種類前提，利用計(jì)算的各個(gè)熒光X射線強(qiáng)度的理論值，推測(cè)測(cè)定得到未知樣品各個(gè)元素的熒光X射線強(qiáng)度的組成一致。 還有一個(gè)是NBS-GSC法也稱作理論Alpha系數(shù)法。它是基于熒光X射線激發(fā)的基本原理，從理論上使用基本物理參數(shù)計(jì)算出樣品中每個(gè)元素的一次和二次特征X射線熒光強(qiáng)度的?；诖嗽儆?jì)算Lachance綜合校正系數(shù)，然后使用這些理論α系數(shù)去校正元素間的吸收增強(qiáng)效應(yīng)。它與經(jīng)驗(yàn)系數(shù)法不同，這些校正系數(shù)是從“理論”上取得的，而非建立在“經(jīng)驗(yàn)”上。因而它也不需要那么多的標(biāo)樣，只要少數(shù)標(biāo)樣來(lái)校準(zhǔn)儀器因子。????