直讀光譜儀在90年代以前只能分析金屬中氣體元素C，S。后來光譜儀生產技術的提高，金屬中氣體元素系指C,S,N,O,H.九十年代以前光電直讀光譜儀只能分析C，S.。隨著光譜還有可用于遠紫外的光電倍增管的出現(xiàn)，對充惰性氣體光學系統(tǒng)的重新認識與改進，光電直讀光譜對于氣體元素分析有了巨大的飛躍。
對于氮的分析是光電直讀光譜分析新的突破，在最初是用174.27nm譜線測量，但是測量穩(wěn)定性差，氮的含量也得高，所以實際應用不高。之后采用149.47nm譜線測定鋼中氮，檢測限可達5ppm，穩(wěn)定性很好。
創(chuàng)想直讀光譜儀
以前碳只用193.09nm譜線測定，鋼鐵中檢測限為5ppm，現(xiàn)在根據需要可使用165.70nm譜線，鋼鐵及銅中碳的檢測限可達1ppm.關于氧的光電直讀光譜分析是近幾年開展的，銅中檢測限為10ppm，鋼鐵中為15ppm，光電直讀光譜分析鐵中氫檢測限為8ppm.
目前光電直讀光譜可以超低碳分析，鋼中氮分析，純銅中碳、硫、氧分析，以及欽中氫的分析。國內在鋼中定氮，純銅中定氧的工作也逐步開展起來。一般來說測定氮、氧、氫的光電倍增管需要特殊的光學材料，這樣才可以減少其自身對譜線的吸收。所以這些光電倍增管價格要貴上許多，所以儀配置上這些通道的儀器價格也較一般貴。
總的來說，雖然直讀光譜儀在分析氣體元素上有了很大進展，但是相比專用的碳硫分析儀，氧氮分析儀及氫分析儀，在檢測方面還是有差距的，它還有很大的發(fā)展空間。